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多晶硅薄膜的制備方法

多晶硅薄膜的制備方法

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級別:| 積分:0 分 | 瀏覽:80391 | 大。24.50KB | 下載:4447 次 | 上傳:2013-10-22

簡介:

多晶硅薄膜材料同時具有單晶硅材料的高遷移率及非晶硅材料的可大面積、低成本制備的優(yōu)點(diǎn)。

         
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