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非晶硅薄膜的生長機理是怎么樣的

非晶硅薄膜的生長機理是怎么樣的

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簡介:

制備氫化硅薄膜是基于輝光放電的PECVD技術(shù),在外界電場的激勵下使反應氣體電離形成等離子體。

         
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