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關(guān)于多線切割線痕問題

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級別:| 積分:0 分 | 瀏覽:81305 | 大小:16.02KB | 下載:4453 次 | 上傳:2013-10-18

簡介:

硅片表面出現(xiàn)單一的一條陰刻線(凹槽)、一條陽刻線(凸出),并不是由于碳化硅微粉的大顆粒造成的,單晶硅、多晶硅在拉制過程中出現(xiàn)的硬質(zhì)點造成跳線,而形成的線痕。

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